近日,浙江省計量院“掃描探針顯微鏡校準裝置”通過了專家組現場考核,建立了省內首個納米計量領域社會公用計量標準。
目前,浙江省計量院已具備微納幾何結構關鍵尺寸的計量校準能力,可為半導體企業、精密加工中心的關鍵尺寸測量提供量值溯源至國家基準的途徑,更加全面準確地為半導體、微電子行業的納米尺度關鍵尺寸檢測提供技術保障。
近年來,浙江省計量院為了加強質量技術基礎及體系建立, 服務我省經濟轉型升級,圍繞“三強一制造”中心工作,不斷在高端裝備、醫療衛生、大氣治理、新材料等領域建立社會公用計量標準,滿足新產業領域發展的需要。
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