量子電阻基準能夠滿足重大科研課題對電阻精確測量的需求。記者13日從中國計量科學研究院獲悉,該院自主研制的單個量子化霍爾器件,結束了我國電阻基準所用標準器件依賴國外進口的現狀,為我國航天航空、國防工業以及精密儀器的發展提供了關鍵技術保障。
課題負責人,中國計量科學研究院李勁勁研究員接受科技日報記者采訪時說:“我國雖然已建立國際先進的量子電阻基準,但基準必不可少的核心器件仍依賴進口。這無疑是我們發展的瓶頸?!?/P>
為解決這一“卡脖子”問題,李勁勁帶領中國計量科學研究院“量子器件”創新團隊,在國家科技支撐課題“用于計量的微納集成器件關鍵技術研究”的支持下,依托該院微納加工平臺,開展了電阻基準用量子化霍爾器件的研制。經過6年的攻關,成功實現了“單個量子化霍爾器件”“量子化霍爾陣列器件”等多種微納量子器件和集成器件的自主研制。
“單個量子霍爾器件能夠取代國際計量局標準樣品,用于我國量子電阻國家基準系統進行電阻量值傳遞、國際比對等任務。而通過霍爾陣列我們可以獲得任意整數阻值的電阻。” 李勁勁說。課題組在國內首次實現了可以產生1 kΩ和10 kΩ整數電阻值的量子化霍爾陣列器件,使我國成為國際上少數掌握該技術的國家之一。
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